过热度指温度高于相同压力下水的沸点温度的水蒸气，在灭菌过程中超热的风险是蒸汽将不冷凝或者提供湿气直接到蒸汽温度减少到饱和的温度。这个产生后，蒸汽将不仅仅作为一个热气，没有多少灭菌效果，且过高的温度将会造成包装盒产的伤害，因此在灭菌之前蒸汽需要长时间保证恒定的温度，否则会产生能源浪费（＜25℃）。
过热度的测试一般是在非凝结性气体测试满意合格的情况下进行。
过热的蒸汽对于湿热灭菌来说不适合的介质。过热的蒸汽可造成灭菌失败，织品和纸张灼热以及橡胶的退化。在负荷和灭菌室内过热的情形，可能由绝热膨胀，发热反应产生或者两种情况一起产生。
过热由绝热膨胀产生:这通常是在压力系统里减压或者部分关闭主蒸汽阀门产生的额外的变形结果。在灭菌室入口的供压超过制造商指定的最大压力值，减压系统和分离器至少应达到3米的距离以适合供汽管。热损失可减少灭菌室入口蒸汽的干度。
过热升高由热反应产生：在灭菌期间这种情况的发生是干的吸湿材料的再水合作用造成的。这是与某种纺织品特别是合成棉有关。这种现象发生在冷而干燥的天气期间，特别是那个地方的材料保存放在加热的房间中机械的通风但无采用低的流量取样，连续从蒸汽供应管的中心获取。
该方法决定的蒸汽过热度不能被认为是蒸汽的真的干度，因为凝结在内表面的凝结水并没有被收集到。这是代表在该蒸汽条件下在蒸汽室消毒的期间合适的能够达到目的的参数。

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